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微流控芯片的设计结构一般深宽比较大，针对微流控芯片这一特点，Cchip-0019适用于高深宽比工艺的光刻机。该设备采用目前***的LED光源，紫外波长365nm，光源纯度高，辐射能量均一可调，设备配有智能化触摸屏操作面板，外观比较传统光刻机体积更小，集成化度更高，不仅简化了操作流程，还进一步提高了工艺效率。
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