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键合

键合将两片表面清洁、原子级平整的同质或异质半导体材料经表面清洗和活化处理,在一定条件下直接结合,通过范德华力、分子力甚至原子力使晶片键合成为一体的技术。

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阳极键合                                           

共晶键合(AuSn,CuSn、AUSi等)       

胶键合(AZ4620、SU8、键合专用胶)

引线键合  


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共晶键合(AuSn,CuSn、AUSi等)       

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键合将两片表面清洁、原子级平整的同质或异质半导体材料经表面清洗和活化处理,在一定条件下直接结合,通过范德华力、分子力甚至原子力使晶片键合成为一体的技术。
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