注：图中技术指标1. 晶圆尺寸：4inch（直径10cm）2. ***小线宽2um3. 金属：Cr+Au=10+100nm4. 切割：3*3mm
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注：图中技术指标
1. 晶圆尺寸：4inch（直径10cm）
2. 线宽2um
3. 金属：Cr+Au=10+100nm
4. 切割：3*3mm
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