注：图中技术指标1. 晶圆尺寸：4inch（直径10cm）2. 通孔***小线宽：5um3. ***通孔范围：2*2cm4. 掩膜厚度：500um
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注：图中技术指标
1. 晶圆尺寸：4inch（直径10cm）
2. 通孔线宽：5um
3. 通孔范围：2*2cm
4. 掩膜厚度：500um
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